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退火处理对掺锑Zn-Sn-O薄膜的特性的影响

黄树来 , 姜永超 , 盖凌云 , 徐进栋 , 王雨生 , 马瑾

功能材料

首次在低温下采用磁控射频溅射技术在玻璃衬底上制备出具有多晶结构的掺锑锌-锡-氧(Zn-Sn-O:Sb)透明导电膜.研究了在通氧气氛制备薄膜的特性以及退火处理对制备薄膜结构和光电性能的影响.经真空退火后,氩氧混合气体溅射制备的Zn-Sn-O:Sb透明导电膜的最小电阻率为4×10-2Ω·cm,相应载流子...

关键词: 磁控射频溅射 , 透明导电膜 , Zn-Sn-O:Sb