赵家敏
,
游利兵
,
余吟山
,
方晓东
量子电子学报
doi:10.3969/j.issn.1007-5461.2013.06.009
实用型大能量高功率准分子激光器广泛地应用于材料的加工及表面处理,介绍了其在液晶平板显示行业、太阳能光伏行业、半导体行业及汽车制造业的应用.分析了大能量高功率准分子激光器的关键技术,如大面积均匀放电技术,预电离技术,高压快脉冲激励技术以及为了得到更大的脉冲能量及功率输出而采用的双腔同步技术.
关键词:
激光技术
,
准分子激光
,
大能量
,
高功率
,
磁脉冲压缩
,
激光退火
