材料期刊网

1. 首页
2. 检索结果页

原词结果 | 译词结果

微型磁通门式磁敏感器(MEMSMag)

杨建中 , 尤政 , 刘刚 , 康春磊 , 田扬超

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2008.02.007

基于MEMS技术的微型磁通门式磁敏感器是磁场测量技术和微机电系统(MEMS)技术交叉研究领域的一个热点,在航空航天领域特别是在纳型/皮型卫星技术中有着重要的应用.本文介绍了该类磁敏感器所运用的磁通门效应的原理.从磁芯、线圈和整体结构布局等方面分析了现有的各种微型磁通门式磁敏感器的结构特征.并依据磁通门原理和各种微型磁通门式磁敏感器的结构特点,设计了一种两轴微型磁通门式磁敏感器.这种新型的磁敏感器具有对称结构、闭合磁路、差动形式、柔性连接等显著特点.

关键词: 微机电系统(MEMS) , 磁通门 , 磁传感器 , 传感器设计

双轴微磁通门传感器

康春磊 , 杨建中 , 田扬超 , 刘刚

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2008.02.009

设计和制作了一种双轴微磁通门传感器.这种微型传感器为螺线管型,磁芯设计为矩形环状闭合结构,磁芯每条边上均绕有激励线圈和检测线圈,保证传感器能够同时检测X轴和Y轴两个方向上的弱磁场.采用了MEMS技术制作微型传感器,其中磁芯用电镀的方法获得,材料为Ni0.8Fe0.2坡莫合金,厚度51μm.制作出的微型传感器的尺寸为7×7mm2,单元内部最小线宽为50μm.检测了线圈的电气导通性,测得电阻值为110欧姆.该微型传感器能够检测弱磁场,因此可用于航天、医学和军事等领域.

关键词: 磁通门 , MEMS , 电镀

出版年份

刊物分类

相关作者

相关热词