任保轶
,
刘子孺
,
高艳慧
,
张学军
材料工程
doi:10.3969/j.issn.1001-4381.2013.05.013
研究磷酸表面处理和复合SiO2涂层对Ti-6Al-4V合金600℃下空气中抗氧化性能的影响.结果表明:600℃氧化24h后,磷酸表面处理使Ti-6Al-4V合金平均氧化速率下降了近75％,复合非晶SiO2涂层样品600℃等温氧化100h后,平均氧化速率比空白样品降低一个数量级,抗氧化性能与单独的磷酸处理比较进一步提高.磷酸表面处理和复合SiO2涂层样品的氧化膜致密性增强且与基体的黏附性良好,二者氧化膜中TiO2的体积分数均低于空白样品.磷酸表面处理形成的TiP2O7层与SiO2涂层共同抑制了O的内扩散和Ti的外扩散.
关键词:
磷酸处理
,
SiO2涂层
,
等温氧化
,
Ti-6Al-4V合金
万相
,
刘阳辉
,
张洪亮
无机材料学报
doi:10.3724/SP.J.1077.2014.13404
采用等离子体增强化学气相沉积法(PECVD)制备了多孔SiO2薄膜,系统地研究了不同浓度磷酸处理对多孔SiO2薄膜的质子导电特性、双电层电容和以此多孔SiO2薄膜为栅介质的铟锌氧(IZO)双电层薄膜晶体管性能的影响.结果表明:多孔SiO2薄膜的质子电导率和双电层电容随磷酸浓度升高而增大,60％浓度磷酸处理后多孔SiO2薄膜质子电导率和双电层电容分别达到1.51×10-4 S/cm和6.33 μF/cm2.随磷酸浓度升高,双电层薄膜晶体管的工作电压降低,并且,电流开关比也变大.其中60％浓度磷酸处理后器件工作电压为1.2 V,迁移率为20cm2/(V·s),电流开关比为4×106.这种双电层薄膜晶体管有望应用在化学和生物传感等领域.
关键词:
双电层
,
薄膜晶体管
,
磷酸处理
,
多孔SiO2
