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医用金属表面溶胶-凝胶法和离子束合成TiO2薄膜的结构、性能比较

刘敬肖 , 杨大智 , 史非 , 蔡英骥

无机材料学报 doi:10.3321/j.issn:1000-324X.2002.04.026

采用溶胶-凝胶法和离子束增强沉积法在医用NiTi合金表面制备TiO2薄膜以提高其生物相容性.利用X射线衍射(XRD)、原子力显微镜(AFM)和X光电子能谱(XPS)对薄膜的结构、表面形貌及组成进行了比较研究;电化学腐蚀实验表明,两种方法制备的TiO2薄膜对金属基体均起到一种保护膜的作用,能够提高医用金属材料在模拟体液中的抗腐蚀性;对薄膜表面固定肝素抗凝血分子进行研究发现,溶胶-凝胶法制备的TiO2薄膜表面能够获得较好的肝素固定效果.

关键词: 溶胶-凝胶法 , 离子束合成 , TiO2薄膜 , 肝素固定

SiC埋层的制备与性质研究

吴春瑜 , 沈桂芬 , 王颖 , 朱长纯 , 李玉魁 , 白纪彬

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2002.01.002

在衬底温度400℃条件下对n型(100)单晶硅进行剂量分别为5×1017cm-1和1×1018cm-1的C+注入,经过在1050℃氮气氛下进行60min退火形成β-SiC埋层.通过X射线光电子能谱(XPS),俄歇电子能谱(AES)及付立叶变换红外吸收光谱(FTIR),对所形成的碳化硅埋层进行了测试与分析.结果表明在此条件下,在Si中可以形成一定的SiC埋层,并且C+离子注入硅衬底可以形成β-SiC和α-SiC.SiC埋层主要由非立方相的α-SiC和立方相的β-SiC所构成.

关键词: SiC , 离子束合成 , 能量损失谱

高温碳离子注入形成碳化硅埋层的结构研究

邢玉梅 , 俞跃辉 , 林梓鑫 , 宋朝瑞 , 杨文伟

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2004.03.010

采用离子束合成法,将p型(100)单晶硅衬底加热并保持在700℃的条件下分别进行剂量为8.0×1017cm-2和9.0×1017cm-2的C+注入,随后在氩气保护下经1250℃退火5h后形成β-SiC埋层.借助红外反射光谱、卢瑟福背散射能谱以及高分辨透射电镜等测试手段,对退火前后碳化硅埋层的组分及结构进行了表征分析,结果证明形成的碳化硅埋层结晶质量较好,并与硅衬底呈良好的外延关系.

关键词: 碳化硅 , 离子束合成 , 埋层

SiC埋层结构与C~+注入剂量关系

严辉 , 陈光华

材料研究学报

采用MetalVaporVacuumArc(MEVVA)离子源的离子束合成法,往Si衬底注入剂量为3.0×1017～1.6×1018cm-2的C+制成SiC埋层,C+离子束的引出能量为50keV.光电子能谱和红外吸收谱表明SiC埋层的结构特征明显地依赖于剂量,采用MEVVA离子源可以在平均衬底温度低于400℃时得到含有立方结构的SiC埋层.

关键词: MEVVA离子源 , ion beam synthesis , buried SiC layers

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