唐宾
,
刘道新
,
胡奈赛
,
何家文
无机材料学报
利用离子束增强沉积技术， 在 Ｓｉ （１１１） 和 Ｇ Ｃｒ１５ 轴承钢基体上沉积 Ｃｒ Ｎ 镀层研究氮分压、 Ｎ＋ ＋ Ｎ＋２ 离子轰击能量和 Ｎｉｏｎｓ Ｃｒ ａｔｏｍｓ 到达比对镀层组织结构的影响结果表明， Ｃｒ- Ｎ 镀层组织对氮分压敏感， 随着氮分压的增加， 镀层中 Ｃｒ Ｎ 组份增加， 金属 Ｃｒ 及 Ｃｒ２ Ｎ 组份减少； 随着氮离子轰击能量的增加， Ｃｒ- Ｎ 镀层中 Ｃｒ Ｎ （２００） 择优生长； 但当 Ｎ ｉｏｎｓ/Ｃｒ ａｔｏｍｓ 比从１４５ ×１０ － ２ 增至５.８７ ×１０ － ２ 时， 镀层中 Ｃｒ Ｎ 组份非但没有增多， 反而使镀层中的 Ｃｒ 以 Ｃｒ２ Ｏ３ 形态存在.
关键词:
离子束增强沉积
,
null
,
null
,
null
门传玲
,
徐政
,
安正华
,
张苗
,
林成鲁
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2002.04.001
采用离子束增强技术(IBED)在100mm硅片上合成了AlN薄膜.以速率0.05nm/s蒸发高纯Al得到AlN样品,XPS结果证实了成功合成了AlN薄膜,其N/Al比为0.618:1,扩展电阻结果表明其绝缘性能良好,原子力显微镜(AFM)显示其表面平整光滑,均方根粗糙度(RMS)为0.13nm,满足键合需要.利用智能剥离技术(Smart-cutprocess)成功地制备了以AlN薄膜为埋层的SOI(silicon-on-insulator)材料.剖面透射电镜照片(XTEM)给出了此SOI结构,高分辨TEM实验结果表明上层硅具有与衬底硅相似的结晶质量可满足器件制造的要求.
关键词:
AlN薄膜
,
键合
,
SOI
,
离子束增强沉积
刘道新
,
唐宾
稀有金属
doi:10.3969/j.issn.0258-7076.2005.01.009
分别利用等离子氮化技术和离子束增强沉积(IBED)技术使钛合金表面获得硬质抗磨层和MoS2,MoS2-Ti固体润滑膜层.通过电化学测试技术研究了膜层和钛合金基材在含Cl-介质中的抗蚀性能和接触腐蚀敏感性.研究结果表明:Ti与MoS2的复合改善了MoS2膜的环境适应性,MoS2-17Ti复合膜层与钛合金接触相容;IBED TiN较钛合金电化学活性低,阳极极化行为与Ti6Al4V合金相近,与钛合金基体间电偶腐蚀敏感性低;钛合金等离子氮化处理层在NaCl水溶液中无论处于自然腐蚀电位还是弱阳极极化状态,均较钛合金电化学活性低,且与钛合金基体间电偶腐蚀敏感性低.
关键词:
电化学
,
腐蚀
,
离子束增强沉积
,
等离子氮化
,
钛合金
李化龙
,
黄元伟
,
柳襄怀
,
张允书
腐蚀学报（英文）
用离子束增强沉积方法,在304不锈钢表面上制备了Si,Y—Si,Al,Y-Al薄膜,研究了它们在950℃、1050℃空气中的氧化,并采用EPMA及SEM等技术分别对氧化产物进行了分析。对离子束增强沉积薄膜样品的抗氧化性、SiO2膜的形成过程及Y的作用进行讨论。
关键词:
离子束增强沉积
,
Al
,
Si
,
Y
,
Oxidation
袁宁一
,
李金华
,
李格
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2004.03.012
用多晶薄膜晶粒-晶界两相结构模型,考虑晶格畸变和载流子对晶界势垒区的隧穿机制,在10～100℃范围内,模拟了离子束增强沉积(IBED)VO2多晶薄膜的相变.模拟结果显示,由于晶粒中间隙位置氩的存在,使VO2晶格畸变,导致了薄膜中部分晶粒的相变温度降低,使IBED VO2薄膜在48℃开始由半导体相向金属相转变.
关键词:
VO2多晶薄膜
,
离子束增强沉积
,
晶格畸变
,
晶界隧穿
张会臣
,
高玉周
,
孙昌国
,
刘莎
,
严立
中国有色金属学报
在原子力显微镜上对采用离子束增强沉积方法制备的4种纳米金属薄膜的摩擦特性进行了研究,分析了载荷和滑动速度对金属薄膜摩擦特性的影响,并对4种纳米金属薄膜的特性进行了比较.结果表明:铜薄膜的摩擦力随着滑动速度的增加而基本保持不变,镍薄膜的摩擦力随着滑动速度的增加而略有增加,钛薄膜的摩擦力随着滑动速度的增加而显著增加,而铝薄膜的摩擦力随着滑动速度的增加而减小;4种纳米薄膜的摩擦力均随着载荷的增大而增大,并且都存在一个载荷值,超过这个值,接触刚度增大,摩擦力急剧增加;4种薄膜中,铜薄膜的摩擦力最小,铝薄膜在载荷较大时的摩擦力最大;4种纳米金属薄膜摩擦特性的差异与薄膜的结构、形貌特征有关.
关键词:
纳米薄膜
,
摩擦
,
离子束增强沉积
,
原子力/摩擦力显微镜
王少鹏
,
乔生儒
,
张程煜
机械工程材料
doi:10.11973/jxgccl201512005
分别以硅青铜和YG-8合金为电极进行瞬态电能表面强化结合离子束增强沉积硅青铜对 Ti17钛合金进行表面复合强化,研究了电极材料对其组织和耐磨性能的影响。结果表明：Ti17钛合金表面复合强化层由瞬态电能强化层和铜沉积层组成,铜沉积层组织致密,无气孔、微裂纹等缺陷,与瞬态电能强化层结合良好；以硅青铜为电极强化处理后的钛合金表面复合强化层厚约6μm,强化层及界面处无微孔、裂纹等缺陷,表面硬度为517 HV,耐磨性能较未强化的提高了20倍；以YG-8合金为电极处理后的钛合金表面复合强化层厚约15μm,在其瞬态电能强化层中存在少量的微孔和微裂纹,表面硬度为537 HV,耐磨性能较未强化的提高了30倍；复合强化后 Ti17钛合金的摩擦因数比未强化的略有下降。
关键词:
复合强化层
,
耐磨性
,
瞬态电能
,
离子束增强沉积
张晓化
,
刘道新
,
唐长斌
,
高广睿
中国有色金属学报
研究了Ti 811(Ti8Al1Mo1V)钛合金表面离子束增强沉积(IBED)0Cr18Ni9膜层的膜基界面成分分布、膜基结合强度、膜层硬度和摩擦学行为. 利用喷丸形变强化对IBED膜层进行后处理,拟达到联合提高钛合金高温微动疲劳抗力的目的. 结果表明:离子束增强沉积技术可以获得致密度高,晶粒细化,孔隙率低,膜基结合强度高的0Cr18Ni9膜层,从而显著提高了钛合金表面硬度和耐磨性能;离子束增强沉积0Cr18Ni9膜层的耐磨性能与喷丸形变强化引入的表层残余压应力协同作用,使Ti811合金在350℃高温下的微动疲劳抗力显著提高,并且高于喷丸强化或IBED膜层的单独作用.
关键词:
钛合金
,
微动疲劳
,
复合表面改性
,
高温
,
喷丸强化
,
离子束增强沉积
刘道新
,
严百平
,
唐宾
,
黄淑菊
,
何家文
稀有金属
doi:10.3969/j.issn.0258-7076.1998.03.009
利用慢应变速率拉伸试验 (SSRT) 并结合断口分析, 研究了镀银方式、 镍阻挡层、 表面压应力和温度等因素对TC4钛合金固态银致脆 (SSIE) 行为的影响, 并对SSIE机制进行了理论分析. 结果表明, 在慢速率提伸条件下, TC4于350℃以上表现出较显著的SSIE敏感性, SSIE下限温度约为280℃. 银与TC4表面紧密结合是产生SSIE的必要条件. 电镀 (EP) 银可引起TC4氢脆 (HE) 和SSIE双重破坏作用. 镍阻挡层对TC4的SSIE裂纹萌生有一定抑制作用. TC4合金SSIE过程速率由银在裂纹表面自扩散速率与裂尖氧化膜破裂速率的相对大小决定.
关键词:
银脆
,
氢脆
,
离子束增强沉积
,
钛合金
刘道新
,
唐宾
,
何家文
稀有金属材料与工程
利用离子束增强沉积技术在钛合金表面制备CrN硬质抗磨层和CuNiIn固体润滑膜层.通过电化学测试技术对比研究了膜层和钛合金基材在含Cl-介质中的抗蚀性能和接触腐蚀敏感性,利用高温静态氧化方法评价了膜层的抗氧化性能.结果表明:(1)CuNiIn膜层耐电化学腐蚀性能和抗氧化性能显著优于Cu,在含Cl-介质中与钛合金接触相容.(2)在含Cl-水溶液中,CrN膜层耐蚀性好,与钛合金接触相容;在HCl+HF混合酸中,CrN膜耐蚀性能远优于钛合金;抗氧化性能优于Ti.
关键词:
钛合金
,
离子束增强沉积
,
硬质膜层
,
固体润滑膜层
,
腐蚀
