田林海
,
宗瑞磊
,
朱晓东
,
唐宾
,
何家文
机械工程材料
doi:10.3969/j.issn.1000-3738.2006.05.009
应用低能离子束辅助磁控溅射(IBAMS)沉积铬-铜-氮薄膜,研究了铜含量和轰击能量对薄膜结构、硬度和断裂韧度的影响.结果表明:在相同的轰击能量(400eV)下,铜含量对薄膜结构和硬度的影响不明显,但是铜的加入有利于提高薄膜的断裂韧度;离子辅助轰击能量从400 eV增加到800 eV时薄膜的结构发生了显著变化,断裂韧度和硬度均大幅度提高.
关键词:
离子束辅助磁控溅射
,
铬-铜-氮薄膜
,
硬度
,
断裂韧度
田林海
,
朱晓东
,
唐宾
,
潘俊德
,
何家文
稀有金属材料与工程
采用离子束辅助磁控溅射技术(IBAMS)沉积Cr-N硬质镀层,用压入法评定镀层的断裂韧性,多次冲击试验法测定镀层的多冲疲劳抗力,探讨了多冲疲劳抗力与镀层组织结构和断裂韧性等机械性能的关系.结果表明,通过调节离子束辅助轰击能量,可以提高Cr-N镀层的硬度和断裂韧性.镀层断裂韧性的提高除了与晶块尺寸减小有关外,还与离子轰击导致镀层致密度增加相关.在冲击载荷作用下Cr-N镀层的失效方式为内聚力型疲劳剥落,随硬度和断裂韧性增加,镀层的抗多次冲击疲劳能力提高.
关键词:
Cr-N镀层
,
离子束辅助磁控溅射
,
断裂韧性
,
多次冲击
