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  • 论文(4)

类金刚石/碳化钨多层膜的制备及其结构

林松盛 , 周克崧 , 代明江

中国有色金属学报

采用阳极型气体离子源结合非平衡磁控溅射的方法,在单晶硅及Ti6Al4V钛合金基体上制备掺钨类金刚石多层膜(DLC/WC),利用俄歇电子谱(AES)、透射电镜(TEM)、X射线光电子能谱(XPS)及X射线衍射(XRD)等对膜层的过渡层、界面及微观结构进行研究.结果表明:所制备的膜层厚2.7μm,硬度高...

关键词: 类金刚石/碳化钨多层膜 , 微观结构 , 离子源 , 非平衡磁控溅射

4 MV静电加速器调试中出现的问题

孙振武 , 李玉晓 , 姜胜南 , 李涛 , 郑世全 , 刘柱华 , 霍裕平

原子核物理评论 doi:10.3969/j.issn.1007-4627.2005.03.010

介绍了静电加速器的结构以及调试中出现的离子源不放电、控制系统失灵和加速管破裂等技术问题,分析了出现这些问题的原因以及解决办法,调试出了流强为100μA、能量在3 MeV以上的稳定质子流.

关键词: 静电加速器 , 加速管 , 离子源 , 离子束

气压对离子源增强磁控溅射制备氮化铝薄膜的影响

李鹏飞 , 陈俊芳 , 符斯列

表面技术 doi:10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2016.04.023

目的 制备性能优异的氮化铝薄膜.方法 采用射频感应耦合离子源辅助直流磁控溅射的方法 制备氮化铝薄膜,在不同的气压下,在Si(100)基片和普通玻璃上生长了不同晶面取向的氮化铝薄膜.使用X射线衍射仪(XRD)、场发射扫描电镜(FESEM)、原子力显微镜(AFM)分析氮化铝薄膜的结构、晶面取向、表面形貌...

关键词: 气压 , 磁控溅射 , 氮化铝薄膜 , 离子源 , 粗糙度 , 直接带隙

小直径石油测井中子发生器研制

肖坤祥 , 艾军 , 史桂娟 , 向伟 , 梁川 , 梅林

原子核物理评论

为满足国内油田石油测井的迫切需要,对小直径测井中子发生器进行了研发。该发生器离子源采用微型化冷阴极Penning离子源,离子光学采用结构简单的单极加速系统。经实验室测试和用户现场刻度及测井表明,研制的中子发生器具有耐高温、产额高、稳定性好等特点,是目前国内研制的最小直径的工业测井中子发生器。所测数据...

关键词: 石油测井 , 离子源 , 中子发生器

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