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辉光等离子体形成TiN/Ti复合渗镀层的研究

刘燕萍 , 徐晋勇 , 高原 , 徐重

材料导报

利用双层辉光离子渗金属技术和空心阴极效应,在低碳钢表面形成TiN/Ti复合渗镀层.用LEC图像分析仪、M-400-H1、GDA750型辉光放电光谱成分分析仪和WS-97型发射划痕分析仪进行检测.结果表明:TiN/Ti复合渗镀层厚度约7μm左右;表面Ti含量达65%,N含量达18%,Ti和N原子按一定的重量百分比呈梯度分布;渗镀层表面形貌是均匀致密细小的胞状物组织,表面越粗糙,胞状组织也粗大,反之则细小;表面硬度在1600～3000Hv之间;渗镀层与基体是冶金结合,不仅具有高硬度而且膜基结合强度也非常好.

关键词: 空心阴极效应 , TiN , 渗镀层 , 结合强度 , 胞状组织

网状阴极法在碳钢表面沉积氮化钽薄膜的研究

窦瑞芬 , 田林海 , 潘俊德 , 陈飞 , 赵晋香

材料热处理学报 doi:10.3969/j.issn.1009-6264.2002.02.014

介绍了一种在钢铁基体上制备氮化钽薄膜的新方法--网状阴极法.其设备简单、价格低廉.实验中发现,在工艺参数调配合适的条件下,可制备出结构为面心立方和密排六方结构的氮化钽薄膜.薄膜较致密且均匀,与基体结合良好.分析了优选工艺参数条件下合成的氮化钽膜的成分、组织、表面和断口形貌及结合力.

关键词: 网状阴极溅射 , 空心阴极效应 , 氮化钽薄膜

用网状阴极法在碳钢表面沉积氮化钽薄膜

窦瑞芬 , 田林海 , 潘俊德 , 陈飞 , 赵晋香

材料保护 doi:10.3969/j.issn.1001-1560.2002.05.010

介绍了一种新型的在钢铁基体上制备氮化钽薄膜的方法 --网状阴极法.其设备简单、价格低廉.实验中发现,在各个参数配比合适的条件下,可制备出结构为fcc(面心立方)和hex(密排六方)的氮化钽薄膜.薄膜较致密且均匀,与基体的结合好 .同时分析了在最佳工艺参数条件下合成氮化钽膜的成分、组织、表面、断口形貌和结合力等.该方法为氮化钽薄膜作为结构材料使用提供了一种新的途径.

关键词: 网状阴极溅射 , 空心阴极效应 , 氮化钽薄膜

网状阴极法在碳钢表面沉积钽薄膜

窦瑞芬 , 田林海 , 潘俊德 , 贺琦

中国有色金属学报

介绍了一种新型的在钢铁基体上制备钽薄膜的方法. 该方法用网状钽片作阴极, 它既是放电气体的离解源, 又是沉积钽膜的钽离子供给源, 其设备简单、价格低廉. 实验中发现, 在各个参数配比合适的条件下, 可制备出结构为bcc(体心立方)和tetragonal(四方晶系)的钽薄膜. 薄膜较致密且均匀, 与基体的结合好. 同时分析了在最佳工艺参数条件下合成钽膜的组织结构、表面和断口形貌、结合力等.

关键词: 网状阴极溅射 , 空心阴极效应 , 钽薄膜

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