于力
,
郎丰群
,
于志明
,
徐家寅
,
金柱京
腐蚀学报（英文）
doi:10.3969/j.issn.1002-6495.1999.02.004
用空心阴极离子镀制备了Ti(Al)N和TiN涂层. 0.5mol/L的H2SO4溶液中极化曲线结果表明, Ti(Al)N涂层的耐蚀性优于TiN涂层. 电子探针(EPMA)、X射线衍射和扫描电镜(SEM)等分析了Ti(Al)N涂层的元素分布特征及组织结构:Al元素在界面处富集, 呈连续带状分布,并以单质状态存在;与单一TiN涂层相比,Ti(Al)N涂层为不贯穿的更致密的柱状晶和纤维状组织结构.对涂层组织结构与耐蚀性进行了探讨.
关键词:
Ti(Al)N涂层
,
空心阴极离子镀
,
组织结构
,
耐蚀性
李明升
,
陈柯伟
,
王福会
,
徐家寅
腐蚀学报（英文）
doi:10.3969/j.issn.1002-6495.2001.z1.012
利用IPB30/30T型空心阴极离子镀膜机并改变蒸发源料中Ti、Al的比例,在不锈钢表面沉积了不同Al含量的TiAlN薄膜;电子探针分析结果表明涂层为内层富铝,外层富TiN的梯度涂层;X-ray衍射分析表明,薄膜相结构主要为δ-TiN的B1NaCl结构,薄膜的择优取向随着镀料中Al含量的增加由(111)向(220)转变.与TiN相似,TiAlN薄膜为柱状晶结构,但Al的引入使薄膜中使针孔数量和直径减小,致密性改善.600℃～800℃下静态空气中恒温氧化实验表明,TiN和TiAlN薄膜氧化时都在表面形成金红石结构的TiO2,但添加Al的薄膜具有比TiN薄膜更好的抗氧化性.扫描电镜观察表明,添加Al的薄膜表面的氧化膜平整致密,无孔洞;而TiN薄膜在氧化过程中形成数量众多的孔洞.600℃时在NaCl和水蒸气的综合作用下,不锈钢基体材料腐蚀严重,TiN涂层对不锈钢基体有一定的保护作用,但其表面腐蚀产物部分脱落,出现大量的腐蚀空洞,而TiAlN涂层表面腐蚀产物均匀致密,无明显空洞.加入Al引起薄膜结构的改善可能是薄膜抗氧化性和抗腐蚀性提高的原因.
关键词:
空心阴极离子镀
,
TiN薄膜
,
TiAlN薄膜
,
针孔
,
空洞
,
抗氧化性
