刘坤
,
杨剑
,
谷宏洁
,
毛昌辉
兵器材料科学与工程
doi:10.3969/j.issn.1004-244X.2011.02.009
采用直流磁控溅射法在空芯玻璃微球表面镀Al膜,将空芯玻璃微球、镀AJ膜玻璃微球和高分子粘合剂按一定比例混合制成人工介质材料.用波导法测量人工介质材料的介电常数,并采用有效媒质理论对测试结果进行分析.结果表明,在8～12 GHz频率范围内,人工介质材料的介电常数随镀Al膜玻璃微球含量的增加而增加,其介电常数在2～5范围内可调.再经热处理工艺优化,人工介质材料的介电损耗正切值可降至0.015以下.
关键词:
直流磁控溅射法
,
空芯玻璃微球
,
介电常数
,
介电损耗
李寅彦
,
毛昌辉
,
杨志民
,
杜军
,
唐群
稀有金属
doi:10.3969/j.issn.0258-7076.2005.03.001
采用直流磁控溅射法对空芯二氧化硅微球表面镀Ni薄膜, 利用扫描电镜对镀Ni膜微球形貌进行观察. 结果表明获得了金属Ni包覆的玻璃微球. 将镀Ni膜微球与高分子粘合剂混合制得人工介质材料, 在一定频率范围内, 测试其介电常数, 并采用有效媒质理论对测试结果进行了分析. 研究结果表明, 在体积分数一定的情况下, 介质材料的有效介电常数eeff随膜厚的增加而增加. eeff随着镀Ni微球体积分数的增加而增加, 其实验值与有效媒质理论的C-M公式计算值较好地吻合.
关键词:
空芯玻璃微球
,
磁控溅射
,
介电常数
