张琦
,
侯蓝田
,
李葵英
,
周桂耀
材料科学与工艺
doi:10.3969/j.issn.1005-0299.2003.02.005
为了改进空芯传能光纤对10.6μm处CO2激光的传输性能,研制了具有SiC内膜的新型空芯玻璃波导,利用SEM和FTIR等技术分析了反应条件对SiC膜层结构、物相的影响,并测试了光纤的性能.结果表明:温度是影响SiC膜层的重要因素;制得的孔径为950 μm,长为2.5 m的SiC传能光纤理论损耗约为0.7 dB/m,实际传输损耗为0.74 dB/m;SiC的吸收蜂有蓝移现象.
关键词:
空芯玻璃波导
,
CO2激光
,
红外传能光纤
,
SiC薄膜
,
CVD
