黄敬良
,
颜永红
,
尹霞
,
唐学明
,
龚磊
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2001.01.008
等离子体处理是微电子技术加工中一种成熟的工艺方法,引入射频辉光放电产生的低温等离子体对三乙醇胺涂膜QCM（QuartzCrystalMicro－balance）传感器进行表面处理,使传感器的各项性能得以改善。该方法给QCM表面质量识别膜的修饰固定提供了新的思路。实验表明：处理后的传感器对乙醛有较好的选择性及较高的响应灵敏度。传感器的重现性与稳定性均佳，传感器较之涂膜处理前更易于再生且使用寿命大大增长。因而该传感器可用于气相中微量乙醛物质的探测，成本低，操作简单。本文对等离子体处理后性能改善的原因、传感器对有机物蒸汽的响应机理及传感器性能的影响因素等作了初步探讨。
关键词:
等离子体处理
,
三乙醇胺
,
QCM质量传感器
,
乙醛
田云霞
,
徐莹
,
王新
膜科学与技术
doi:10.3969/j.issn.1007-8924.2009.06.009
采用苯胺(An)分散聚合原位成膜的方法对等离子体预处理的聚四氟乙烯(PTFE)多孔膜进行亲水化改性,实验通过SEM、接触角测量等表征了PTFE膜的结构和表面亲水性质.试验结果表明,FTFE膜表面是内部留有孔道的纤维交织结构,有较强的疏水性;等离子体处理使聚合峰值提前,后期聚合速率增大,有利于An在PTFE膜的表面聚合沉积.接触角测试表明PANI/PTFE复合膜比原始膜的亲水性有了较好的改观.
关键词:
聚四氟乙烯
,
聚苯胺
,
等离子体处理
,
亲水性
黄柏仁
,
叶忠信
,
李世鸿
,
汪岛军
,
陈昆歧
新型炭材料
采用微波等离子体化学气相沉积系统存钛/硅基板上沉积类金刚石薄膜,并利用拉曼光谱仪、扫瞄式电子显微镜及原子力显微镜研究了氢等离子体前处理及快速退火后处理对类金刚石薄膜场发射特性之影响.在沉积类金刚石薄膜之前,钛/硅基板使用了两种前处理技术:第一种为研磨金刚石粉末,第二种为研磨金刚石粉末后外加氢等离子体刻蚀处理.成长类金刚石薄膜后进行快速退火处理.发现不论是氢等离子体前处理还是快速退火后处理皆能改善场发射特性,其中经退火后处理的场发射特性比氢等离子体前处理的场发射特性改善更明显.其因之一在于快速退火后处理可在类金刚石薄膜表而形成sp2丛聚,提供了很多的场发射子,也同时增加了表面粗糙度;另一个原因可能是在快速退火后处理期间会使类金刚石薄膜进一步石墨化,因而提供了许多电子在通过类金刚石薄膜时的传输路径.研究结果表明:利用适当的前后处理技术可改进类金刚石薄膜的场发射特性,进而做为冷阴极材料之应用.
关键词:
类金刚石
,
等离子体处理
,
快速退火
,
场发射
郑朝銮
,
沈丽
表面技术
doi:10.3969/j.issn.1001-3660.2012.03.027
采用氧气等离子体对聚酰亚胺薄膜进行表面处理,系统研究了等离子体处理时间、压强和功率对处理效果的影响,并对比了空气、氮气、氧气和氩气几种处理气氛的处理效果,得出了最佳处理条件.分析表明:聚酰亚胺薄膜经氧气等离子体处理后,表面引入了含氧极性基团,有明显的刻蚀现象,使得其亲水性增强,与铜箔复合的剥离强度提高.
关键词:
氧气
,
等离子体处理
,
聚酰亚胺薄膜
,
润湿性
,
剥离强度
赵连娜
,
任力
,
尹诗衡
,
赵娜如
,
王迎军
,
陈浩
,
瞿佳
材料导报
采用溶液浇铸法制备了壳聚糖膜,通过氮等离子体对壳聚糖膜进行表面改性以提高其表面亲水性.采缮用扫描电子显微镜(SEM)、表面接触角分析仪和X射线光电子能谱(XPS)对改性前后壳聚糖膜的表面结构和性能进行分析和表征,研究了不同等离子体处理时间和不同放电功率对壳聚糖膜表面结构和性能的影响.结果表明:经氮等离子体处理后,壳聚糖膜的表面接触角可由103.0°降为48.8°,表面亲水性得到明显改善.由XPS分析得知,膜表面的氧、氮含量及氧碳比增加,表面的C-C键发生了断裂而生成新的>C=O(COOR、COOH或CONH)等极性基团,从而使其亲水性增强.
关键词:
壳聚糖
,
等离子体处理
,
X射线光电子能谱
,
亲水性
景凤娟
,
黄楠
,
王进
,
孙鸿
,
李建新
,
冷永祥
功能材料
采用水/氧气,丙烯酸/氧气脉冲射频等离子体处理方法,对氧化钛薄膜进行表面改性.结果表明,水蒸气/氧气混合气体等离子体处理在氧化钛薄膜表面产生了吸附水及游离羟基,丙烯酸/氧气混合气体等离子体处理在氧化钛薄膜表面形成了羟基、羧基和羰基官能团.经水蒸气/氧气、丙烯酸/等离子体处理的氧化钛薄膜的水接触角分别降低了67.3和58.5°,极性分量分别增加了36.5和50.9mJ/m2,表现出很好的亲水性.
关键词:
氧化钛薄膜
,
等离子体处理
,
水蒸气
,
丙烯酸
岳震南
,
黄英
,
王岩
,
季文
,
牛芳芳
玻璃钢/复合材料
doi:10.3969/j.issn.1003-0999.2011.01.004
为提高PBO纤维/环氧树脂复合材料的剪切强度,采用低温等离子体结合涂层技术对聚对苯撑苯并双噁唑(PBO)纤维进行表面改性,分别用SEM、IR对等离子体处理前后纤维表面形态、化学结构进行了表征,通过复合材料层间剪切强度测试,研究不同处理方式对复合材料层间剪切强度的影响.结果表明,等离子体处理后纤维表面粗糙度增加,极性增强.经低温等离子体结合涂层技术处理后,PBO纤维/环氧树脂复合材料的层间剪切强度得到显著提高,较未处理样品提高了39%.
关键词:
PBO纤维
,
等离子体处理
,
涂层
,
粘结强度
,
层间剪切强度
黄承都
,
白素丽
,
吕静
,
李振花
催化学报
doi:10.3724/SP.J.1088.2011.10116
钴基费-托合成催化剂以介质阻挡放电等离子体(DBD法)替代传统热焙烧过程来制备,从而可在低温分解前驱体以获得高分散催化剂.结果表明,DBD法分解前驱体效果与传统焙烧法相同,但更节能和快捷.尽管两种方法所得催化剂的比表面积相近,但DBD法制得催化剂的孔体积和孔径更大,Co分散度更高,且Co与载体间的相互作用更强,因而更难还原.同时,DBD法处理催化剂时硝酸钴分解产物以Co3O4为主,其粒径较小(达11.8nm),其团簇在催化剂表面分布比较均匀.因此,在费-托合成反应中DBD法制得的催化剂表现出较高的CO转化率和C5+选择性.
关键词:
等离子体处理
,
钴基催化剂
,
介质阻挡放电
,
前驱体分解
,
费-托合成
