李成明
,
赵晋香
,
田林海
,
王建明
,
徐重
,
郑维能
材料科学与工艺
doi:10.3969/j.issn.1005-0299.2000.01.013
研究了双层辉光离子钨钼共渗在离子轰击条件下形成渗层和无离子轰击时形成沉积层的表观过程．结果表明,在形成沉积层时,由于离子轰击作用已不存在,使渗层厚度减少26%, 用朗缪尔探针对双层辉光离子钨钼共渗过程进行了等离子体的诊断, 等离子体对表面成分有较大影响．合理的等离子体密度范围为5×1011～3×1012cm-3．
关键词:
离子轰击
,
渗层厚度
,
表面成分
,
等离子体密度
王菲
,
龚学余
,
杜丹
,
任玉虎
,
李景春
低温物理学报
采用等离子体平板模型和三维天线模型数值模拟离子回旋波与等离子体的耦合过程,得到天线耦合功率分别随中心区等离子体密度、抛物线区边缘密度、刮削层边缘密度变化的关系.模拟结果表明:在其他实验参数一定的条件下,增大中心区等离子体密度或刮削层密度,以及减小抛物线区或指数衰减区的密度梯度均可使离子回旋波更好地与等离子体耦合.
关键词:
等离子体密度
,
离子回旋共振加热
,
天线耦合功率
