李新
,
唐祯安
,
邓新绿
,
徐军
,
张虹霞
,
杨梅
功能材料
介绍了微波ECR等离子体源增强非平衡磁控溅射设备的结构和工作原理,详细叙述了利用该设备制备类金刚石膜的过程.Raman光谱证实了薄膜的类金刚石特性;采用原子力显微镜(AFM)观察薄膜的微观表面形貌,均方根粗糙度大约为1.9nm,结果表明薄膜表面非常光滑;利用CERT微摩擦计进行摩擦、磨损和划痕实验,薄膜的平均摩擦系数较小,大约为0.175;DL(膜和Si衬底磨损情况的扫描电镜图片相对比,可以看到DLC膜的磨痕小的多,说明薄膜有较好的耐磨性能;划痕测试结果表明制备薄膜临界载荷大约为40mN.
关键词:
非平衡磁控溅射
,
电子回旋共振
,
等离子体源
,
类金刚石膜
苟伟
,
李国卿
,
柳翠
,
王亮
材料热处理学报
doi:10.3969/j.issn.1009-6264.2004.04.015
在较高真空度条件下(10-1Pa)对奥氏体不锈钢进行等离子体源离子渗氮-多弧离子镀膜复合表面改性,并采用X射线衍射、金相显微镜、电子探针等手段分析了薄膜的结构和成分,探讨了复合处理过程中的组织结构变化.结果表明:380℃离子渗氮3h,表面可形成10μm厚的化合物层;复合处理后,试样表面硬度为2100-2400 HV.
关键词:
等离子体源
,
离子渗氮
,
多弧离子镀
,
不锈钢
马国佳
,
张华芳
,
武洪臣
,
蒋艳莉
,
彭丽平
,
沈季雄
,
成来飞
复合材料学报
doi:10.3321/j.issn:1000-3851.2005.03.012
通过等离子体源离子注入法(PSII),对带有SiC涂层的C纤维增强SiC基(SiC-C/SiC)复合材料进行硼离子注入,研究了硼离子注入对样品抗氧化性能的影响.通过俄歇电子能谱检测分析了样品成份的深度分布.在空气中1300℃的高温条件下进行了氧化实验.通过XRD和扫描电镜分别对样品的化学组成和表面形貌进行了表征,对样品的力学性能进行了测试.结果表明,对SiC-C/SiC复合材料注入硼有助于提高其抗氧化性能.经过离子注入试样的弯曲性能与未经离子注入试样相比变化很小.
关键词:
SiC-C/SiC
,
离子注入
,
复合材料
,
等离子体源
