李新
,
唐祯安
,
徐军
材料研究学报
采用等离子体源离子注入和电子回旋共振--微波等离子体辅助化学气相沉积技术相结合的
方法在Si衬底上制备出了性能良好的类金刚石膜.
通过共聚焦Raman光谱验证了薄膜的类金刚石特性, 用原子力显微镜、
微摩擦计和扫描电镜等对薄膜的表面形貌、摩擦系数和耐磨损性能进行了表征和测量.
结果表明, 用离子注入法制备过渡层大大提高了DLC膜与衬底的结合强度,
薄膜的表面比较光滑, 粗糙度大约为0.198 nm,
具有较低的摩擦系数(0.1$\sim$0.15), 具有较好的耐磨损性能.
关键词:
无机非金属材料
,
diamond-like carbon
,
plasma source ion implantation
