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原词结果 | 译词结果

Ar流量对ECR-PECVD制备氢化纳米晶硅薄膜结构及性能影响研究

张学宇 , 吴化 , 刘耀东 , 吴爱民

人工晶体学报

采用电子回旋共振等离子体增强化学气相沉积(ECR-PECVD)设备制备了氢化纳米晶硅薄膜.通过Raman光谱、XRD和紫外-可见分光光度计的测试分析,研究了Ar/H2对薄膜组织结构和光学性能的影响,并对沉积腔室的等离子体环境进行了系统的诊断.实验发现:少量Ar气的通入有利于提高腔室中的电子温度,保证纳米晶硅薄膜结构的同时提高薄膜的光学带隙宽度.进一步提高Ar气的比例,薄膜明显非晶化,光学性能下降.结合薄膜生长机理和放电气体电离特性对实验结果的产生原因进行了分析.

关键词: nc-Si∶H , Ar/H2 , 等离子体诊断 , ECR-PECVD

向量法与电荷电压法测量介质阻挡放电参量的分析比较

朱全华 , 翟岩 , 殷燕 , 张芝涛

绝缘材料 doi:10.3969/j.issn.1009-9239.2008.01.017

在定频变压条件下,使用向量法和电荷电压法分别对介质阻挡放电参量进行了测量分析,实验表明,二者得到的共有参量(介质等效电容、气隙等效电压、放电功率)变化规律基本相同;电压变化对反应器总等效电容影响不大;在此条件下放电功率会出现一个极大值,其原因主要是电源谐振造成的.

关键词: 向量法 , 介质阻挡放电 , 电荷电压法 , 等离子体诊断 , Lissajous图形

基于原子发射光谱的TiC等离子体沉积诊断

周晗 , 周福增 , 伏开虎 , 黄杰 , 陈琳 , 廖斌 , 张旭

原子核物理评论 doi:10.11804/NuclPhysRev.32.S1.79

对通过磁过滤阴极真空弧(FCVA)获得的高密度、高离化率的等离子体进行诊断。为研究C2H2气流量对磁过滤阴极弧产生的等离子体的影响，采用原子发射光谱(OES)法对FCVA沉积过程中产生的TiC等离子体进行诊断。利用Saha-Boltzmann方法对不同气流量下等离子体的参数进行计算，并对等离子体产生过程中的谱线强度随气流量变化的机制进行研究。结果表明，等离子体电离度较高，约为0.8左右且随气流量的变化不大；电子温度和电子密度分别在1×104～2×104 K和1023～1024 m?3范围内变化，且随着气流量的增加呈现出先增大后减小的变化趋势；Ti粒子谱线相对强度随气流量的变化不大，表明Ti粒子大部分在阴极弧斑附近被离化。

关键词: 原子发射光谱 , 磁过滤阴极弧 , 气体流速Saha-Boltzmann方法 , 等离子体诊断

时间分辨原子发射光谱诊断脉冲放电气体束等离子体

程晓伟 , 李煜 , 赵冬梅 , 马新文 , 杨杰

原子核物理评论 doi:10.11804/NuclPhysRev.33.01.082

建成了一套脉冲放电气体束和原子发射光谱等离子体诊断实验装置，利用这套装置测量了不同放电条件下等离子体的时间分辨发射光谱，并采用玻尔兹曼作图法和H？谱线斯塔克展宽法研究了等离子体的原子温度、离子温度和自由电子密度等参数的演化。实验结果表明，脉冲放电的总电量对等离子体参数的演化有较大影响；脉冲放电气体束等离子体中的离子温度远高于原子温度，自由电子密度相对较低，等离子体处于非局域热平衡状态。

关键词: 脉冲放电气体束 , 原子发射光谱 , 等离子体诊断 , 非局域热平衡

等离子体电解氧化技术金属材料表面改性的研究进展

王丽 , 付文 , 陈砺

材料导报

等离子体电解氧化技术是一项新兴的材料表面改性技术,在材料领域的应用已备受关注,有着广阔的应用前景.从等离子体电解氧化技术的工艺特点、基本原理及过程机理演变、过程等离子体诊断、PEO处理后材料的表面特征、组织分布规律及其材料应用前景等方面介绍了国内外的研究状况,并提出了该技术应用于材料表面改性尚需解决的问题和发展趋势.

关键词: 等离子体电解氧化 , 等离子体诊断 , 轻金属

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