黎建明
,
屠海令
,
郑安生
,
邓志杰
,
罗志强
稀有金属
doi:10.3969/j.issn.0258-7076.2001.05.001
采用 LEC 方法研制出掺锌(100) GaSb 单晶;用霍尔测量法算出的锌掺杂浓度计算得出锌的有效分凝系数 keff 约为 0.84±0.01,沿晶体生长方向随着锌浓度的提高,位错密度缓慢增加,数值约为 (2~3.2)×103cm-2,当掺锌浓度大于 3×1019cm-3 以后, GaSb 发生简并,载流子浓度随掺锌浓度的增加缓慢提高.采用重掺锌母合金作掺杂剂,可减少锌的损失,较好地控制掺杂浓度.
关键词:
GaSb
,
有效分凝系数
,
位错密度
,
简并