张永宏
,
马婕
,
蒋百灵
材料热处理学报
doi:10.3969/j.issn.1009-6264.2007.04.024
为了探讨Cr含量对类石墨碳(GLC)涂层硬度的影响机理,采用非平衡磁控溅射离子镀技术,通过调整Cr靶电流,制备出了具有不同Cr含量的GLC涂层.借助显微硬度计测量了涂层的硬度,利用X射线衍射(XRD)和X射线光电子能谱(XPS)分析了涂层的成分、相组成和主元素的价键结构.结果表明,Cr有显著软化GLC涂层的作用.随着Cr含量增加,GLC涂层中的sp3杂化碳的含量持续减小,sp2杂化碳的含量先增后减,而金属铬及碳铬化合物的含量则不断增大.上述因素对GLC涂层的硬度变化均有影响,而涂层中sp3杂化碳的含量随着Cr含量增加持续减小是造成GLC涂层硬度不断降低的主要原因.
关键词:
类金刚石碳(DLC)
,
类石墨碳(GLC)
,
硬度
,
价键结构
