陈建林
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万隆
,
陈荐
,
毛聪
机械工程材料
对立方氮化硼(CBN)磨粒和聚酰亚胺(PI)树脂进行热压固化成型和后续热处理,制备了PI树脂/CBN砂轮,用热重-差示扫描量热分析仪、红外光谱仪、扫描电子显微镜、磨削试验设备及力学性能试验机等研究了PI树脂的固化反应机理、PI树脂/CBN砂轮的制备工艺及磨削性能.结果表明;试验所用PI树脂的固化反应存在线型与体型聚合两个固化反应放热峰,峰值分别在140 ℃与235℃；PI树脂/CBN砂轮能够精密磨削淬火45钢,磨削后表面粗糙度达到0.19 μm,磨削比为775,在相同磨削条件下比酚醛树脂/CBN砂轮的耐用性更佳.
关键词:
聚酰亚胺树脂
,
立方氮化硼
,
砂轮
,
精密磨削
肖强
,
何雪莉
材料导报
SiC单晶片是第三代宽禁带半导体材料,其特有的晶体结构及高的材料硬度使其加工过程成为难点,突出表现为加工效率低、表面质量不稳定等问题,因此SiC单晶片的高效低损伤加工技术成为研究的焦点.介绍了SiC单晶材料去除机理,总结了高效精密加工SiC单晶的工艺现状及发展趋势,这对于提高SiC单晶片加工技术和应用水平有重要的理论意义和实用价值.
关键词:
SiC单晶
,
精密磨削
,
化学机械抛光
,
表面质量
