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紫外光刻法制备图案化聚合物纳米管/线阵列的研究

李培栋 , 李晓茹 , 宋国君 , 彭智 , 佘希林 , 李建江 , 孙瑾

功能材料

探讨了紫外光刻技术制备图案化聚合物纳米管/线阵列的方法,研究制备过程中的各种影响因素,并找到了最佳的实验条件.采用溶液浸润法,成功制备了不同图案的聚合物纳米结构阵列.溶液浓度为6%(质量分数),得到的是聚合物纳米管阵列;溶液浓度为10.0%(质量分数),得到的是聚合物纳米线阵列.

关键词: 紫外光刻技术 , 纳米管 , 纳米线 , AAO模板 , 图案化

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