季振国
,
冯丹丹
,
席俊华
,
毛启楠
,
袁苑
,
郝芳
,
陈敏梅
材料科学与工程学报
结合紫外-可见光谱和高分辨XRD两种测试方法,无损、可靠地确定了AlGaN/GaN HEMT结构内各层的厚度、成分、应力等参数,解决了高分辨XRD无法同时确定成分与应力的难题.这两种方法的好处是样品不需经过特殊的处理,也不需进行切割、减薄等工艺,具有快速、无损、准确的特点,可以作为AlGaN/GaN HEMT器件的筛选工具,提高器件的成品率、降低生产成本.
关键词:
X射线衍射
,
紫外-可见反射
,
无损检测
