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Kinetic Monte Carlo模拟PVD薄膜生长的算法研究

赫晓东 , 单英春 , 李明伟 , 史丽萍

功能材料

提出kinetic Monte Carlo模拟物理气相沉积(physical vapor deposition,简写为PVD)薄膜生长的新算法:用红黑树搜索实现跃迁路径选择及系统跃迁概率更新,通过比较红黑树搜索、线性查找、满二元树搜索的计算效率,综合分析了这3种方法的时间复杂度和空间复杂度.结果表明红黑树搜索优于其它两种搜索方法,模拟效率最高,更适合用于执行大系统的kinetic Monte Carlo模拟.

关键词: kinetic Monte Carlo , 红黑树 , PVD , 薄膜

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