王慧
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吴文慧
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岳奇
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陈浩哲
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杨红光
表面技术
目的 探讨在纯钛基片上制备钛酸钡薄膜的技术参数,为增强钛瓷结合强度奠定研究基础.方法 以碳酸钡和钛酸丁酯为原料,利用溶胶-凝胶法在纯钛基片上制备钛酸钡薄膜,对比不同浓度溶胶、不同干燥机制条件下制备的薄膜的质量.结果 180℃干燥、380℃热处理、升温速率6℃/min和120℃干燥、300℃热处理、升温速率3℃/min两种条件相比,前一种条件制备的薄膜退火后开裂程度大.采用0.3 mol/L钛酸钡溶胶,在后一种条件下制备的薄膜基本完好,无裂纹;而采用0.35 mol/L钛酸钡溶胶,在相同条件下制备的薄膜裂纹较明显.结论 采用0.3 mol/L钛酸钡溶胶,在120℃干燥、300℃热处理、升温速率3℃/min的条件下制备薄膜,薄膜质量最佳.
关键词:
纯钛基片
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钛酸钡薄膜
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溶胶-凝胶法
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制备参数
