龚鹏
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范真
,
丁建宁
,
程广贵
,
袁宁一
,
凌智勇
表面技术
采用射频磁控溅射方法在玻璃基底上制备氮化铜薄膜,研究了氮氩混合气体中的氮气比例对薄膜择优生长取向、表面晶粒尺寸和微观力学性能的影响.结果表明:低氮气比例时,薄膜的纳米力学性能比较差；随着氮气比例的增加,氮化铜薄膜的择优生长晶面从(111)晶面转变为(100)晶面,晶粒尺寸变小,显微硬度增加,弹性模量则是先增加,后减小.
关键词:
氮化铜薄膜
,
射频磁控溅射
,
微结构
,
纳米力学
田琳
,
付琴琴
,
单智伟
中国材料进展
doi:10.7502/j.issn.1674-3962.2013.12.01
微纳尺度材料是指外观尺寸或其基本构成单元在10 nm 到10μm 之间（以下简称微纳尺度）的材料或器件。个案、定性的研究表明微纳尺度材料有以下特性：其性能不能通过外推基于宏观块体材料的知识体系得到，传统的力学测试工具和方法无法满足对微纳尺度材料进行测试的要求，微纳尺度材料通常在多场耦合条件下服役。这些特性要求研究工作者持续不断地寻找和研发新的工具以期实现对微纳尺度材料的可控制备，高通量观测、操控和定量测量。双束聚焦离子束技术不仅因具有纳米级的空间分辨率而具备对微纳尺度材料的高质量成像和动态监测，而且具备纳米分辨率的定点刻蚀、诱导沉积等功能。因此，双束聚焦离子束成为研究微纳尺度材料力学性能的有力工具。综述了近年来聚焦离子束技术在微纳尺度材料类力学性能研究中的应用，并讨论了其局限性和发展趋势。
关键词:
聚焦离子束
,
纳米力学
,
微纳尺度
,
样品加工
