陈松平
,
孙道恒
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2008.01.003
真空的获得和维持是目前MEMS真空封装技术中存在的主要难题之一.实验利用具有高比表面积和自身储气特性的碳纳米管(CNTs)作为骨架,制备一种能在高真空环境(<10-3 Torr,分子状态)和低温(<400℃)下吸收活性气体的新型吸气剂--纳米吸气剂.与传统吸气剂意大利SAES公司的St175相比,在5000C下激活10min后,室温下,单位质量的纳米吸气剂吸气速率约是St175的1000倍;而带温(320℃)下测试,约是St175(750℃下激活10min后冷却至400℃下测试)的20倍.
关键词:
碳纳米管
,
真空封装
,
纳米吸气剂
