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多孔阳极氧化铝薄膜的应用进展

马全宝 , 张正富 , 杨显万 , 徐明丽 , 杨勇彪 , 陈庆华

材料导报

简要介绍了近几年来多孔阳极氧化铝薄膜的应用进展.由于该类薄膜特有的纳米有序孔阵列结构,而被人们用作合成纳米有序结构的模板、制备纳米多孔氧化铝传感器及用于制备纳米电子器件和纳米光电子器件等领域.预计这类薄膜在纳米功能器件制备领域的应用还会进一步拓宽.

关键词: 多孔阳极氧化铝膜 , 纳米有序结构 , 应用进展

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