郭俊婷
,
徐阳
材料科学与工程学报
采用射频磁控溅射技术在PET针刺毡表面沉积了纳米结构Cu薄膜,试图利用等离子体预处理的方法来改善薄膜与基材之间的结合牢度.采用扫描电子显微镜(SEM)对低温等离子体预处理前后基材表面形貌的变化进行了分析,同时利用静态液滴形状观察法和接触角测试分析了等离子体处理前后样品的润湿性能.采用X射线能谱仪(EDX)对纳米结构Cu薄膜进行了元素分布及定量分析.结合抗静电性能测试,采用冷热循环试验研究了Ar和O2等离子体预处理对Cu薄膜结合牢度的影响.研究发现,低温等离子体预处理不仅能改善沉积Cu薄膜PET针刺毡的抗静电性能,还能提高膜-基结合牢度和基材的润湿性能.用O2等离子体处理时,膜-基结合牢度和润湿性能较好.
关键词:
等离子体处理
,
纳米结构铜薄膜
,
涤纶针刺毡
,
结合牢度
,
接触角
