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燃烧化学沉积纳米α-Al2O3薄膜的相变动力学试验研究

张增志 , 王博涛

功能材料

根据燃烧化学沉积法的相变动力学特点,以反应物密度的变化为相变动力学变量,建立了燃烧化学沉积法的相变动力学模型,按照完全燃烧、雾化剂不过量和雾化效果良好的原则,通过初始液体雾化研究和相变动力学实验获得了实现良好雾化效果的实验参数,制备了均匀致密的α-Al2O3纳米陶瓷薄膜,并运用SEM和TEM等分析了α-Al2O3纳米陶瓷薄膜的显微形貌和结构.

关键词: 燃烧化学沉积 , 纳米陶瓷薄膜 , α-Al2O3薄膜 , 相变动力学