材料期刊网

工艺气体比例对微波MO CVD沉积氧化铝膜性能影响?

张健 , 巴德纯 , 赵崇凌 , 杜广煜 , 刘坤

功能材料 doi:10.3969/j.issn.1001-9731.2016.05.043

AlO 薄膜作为高效太阳能电池中P层钝化薄膜引起了光伏龙头企业的关注。本文利用自主研发的线性微波等离子增强化学气相沉积系统(LMW-MOCVD)在单晶硅基体上用不同N2 O 和 TMA特气比例制备氧化铝膜层样品，并通过SEM、SE800椭偏仪对薄膜的成分、表面形貌、厚度、沉积速度、折射率测试分析。实验结果表明，随着N2 O 比例增大，薄膜中O/Al原子比例有上升趋势；膜层沉积速度显著降低；膜层折射率开始趋于稳定而后迅速降低。所以，工艺气体比例对LMW-MOCVD沉积氧化铝膜的性能有明显影响。

关键词: 线性微波源 , 氧化铝薄膜 , 工艺气体比例 , 折射率 , 沉积速度