孙小虎
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雷青松
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曾祥斌
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薛俊明
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鞠洪超
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陈阳洋
人工晶体学报
利用金属有机物化学气相沉积(MOCVD)生长技术,制备本征ZnO薄膜,并研究薄膜的结构、形貌及光电等性能.结果表明:衬底温度对ZnO薄膜的微观结构、电学、光学及表面形貌等有显著影响.在衬底温度为180℃时获得电阻率为2.17×10-2Ω·cm.平均透过率为85％的低电阻、高透过率、结晶质量高、表面呈绒面结构的本征ZnO薄膜.对本征ZnO薄膜进一步掺杂和结构优化有望用于硅薄膜太阳能电池的前电极.
关键词:
MOCVD
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绒面ZnO薄膜
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衬底温度
,
太阳电池
陈新亮
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薛俊明
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张德坤
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蔡宁
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张晓丹
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赵颖
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耿新华
人工晶体学报
本文制备出(110)峰取向的绒面结构MOCVD-ZnO:B薄膜并提出CH3COOH湿法刻蚀的表面处理技术.研究表明,绒面结构ZnO:B薄膜具有"类金字塔"晶粒形状;处理前后ZnO:B薄膜的微观结构,方块电阻和光学性能变化不大.适当的表面处理有助于使薄膜表面趋于柔和,有望改善ZnO/Si界面特性,从而应用于μc-Si薄膜太阳电池.
关键词:
MOCVD
,
绒面ZnO薄膜
,
湿法刻蚀
,
太阳电池
