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赵宗彦 , 柳清菊 , 张瑾 , 朱忠其
功能材料
作为微电子机械系统(MEMS)技术中最有潜力的绝热材料,纳米多孔二氧化硅薄膜近年来引起了广泛的关注.研究表明其绝热性能与微观结构密切相关.综述了纳米多孔二氧化硅薄膜的制备方法、表征手段和绝热机理,并讨论了目前存在的一些问题和今后的发展方向.
关键词: 纳米多孔二氧化硅薄膜 , 绝热材料 , 绝热机理
