材料期刊网，材料期刊，材料类期刊，材料期刊投稿

检索条件：关键词=羰基镍　　

论文(2)
图书()
专利()
新闻()

原词结果 | 译词结果

金属有机物化学气相沉积法沉积镍膜的影响因素

材料保护 doi:10.3969/j.issn.1001-1560.2004.06.002

为了获得高速沉积镍膜的工艺参数,以羰基镍[Ni(CO)4]为前驱体,用金属有机物化学气相沉积法进行试验,以SEM,DSC,XRD测试分析技术探讨了载气、温度和羰基镍的摩尔分数对沉积速率的影响;也探讨了温度及羰基镍的摩尔分数对镍膜微观形貌的影响.结果表明,以氩气为载气比氦气为载气更容易获得高沉积速率;...

关键词: 化学气相沉积 , 金属有机物 , 羰基镍 , 镍膜

镍的金属有机化学气相沉积及相关因素的研究

彭冬生 , 赵立峰 , 刘世良 , 谢长生

材料热处理学报 doi:10.3969/j.issn.1009-6264.2003.01.015

研究了以羰基镍为沉积源,利用MOCVD技术沉积镍薄膜;讨论了沉积温度及压力对沉积速率的影响,以及利用SEM、XRD、DSC等分析手段来探讨沉积温度及不同沉积基体对薄膜微观形态的影响.结果表明,沉积温度约为150℃可以得到较快的沉积速率,而且薄膜连续具有金属光泽;以铜为沉积基体所得到的薄膜其微观形态中...

关键词: 金属有机化学气相沉积(MOCVD) , 羰基镍 , 薄膜

材料期刊网

金属有机物化学气相沉积法沉积镍膜的影响因素

镍的金属有机化学气相沉积及相关因素的研究

出版年份

刊物分类

相关作者

相关热词