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用CVD法在陶瓷颗粒表面获得TiN涂层与应用

王恩泽 , 郑燕青 , 邢建东 , 鲍崇高

复合材料学报 doi:10.3321/j.issn:1000-3851.1998.04.011

研制了适合陶瓷颗粒表面涂层处理的化学气相沉积装置,并探索了在氧化铝颗粒表面获得TiN涂层的工艺;所获得的TiN涂层能提高耐热钢在氧化铝颗粒间的铸渗深度,并使颗粒得到基体的牢固支撑.氧化铝颗粒体积分数在23%~57%可调.

关键词: 化学气相沉积 , TiN涂层 , 氧化铝颗粒 , 耐热钢基体 , 复合材料

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