苏葆辉
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何子博
,
冉均国
,
苟立
,
王方瑚
稀有金属材料与工程
采用射频辉光放电等离子体化学气相沉积(RF-PCVD)法在聚碳酸酯(PC)表面沉积类金刚石(DLC)薄膜.研究了功率、气体浓度和沉积时间等条件对薄膜性能的影响,优化了工艺条件;用X射线光电子能谱测定了薄膜的组成;评价了薄膜的耐磨性能和附着性能.结果表明:PC镜片表面沉积附着性好的DLC薄膜能提高材料表面的耐磨性能.
关键词:
聚碳酸脂
,
等离子体化学气相沉积
,
类金刚石膜
,
耐磨性能
何子博
,
陈显春
,
苏葆辉
,
冉均国
,
苟立
表面技术
doi:10.3969/j.issn.1001-3660.2006.02.025
针对树脂镜片耐磨性较差的问题,在聚碳酸脂(PC)镜片上采用射频辉光放电等离子体(RF-PECVD)设备沉积类金刚石(DLC)薄膜来提高耐磨性,研究了沉积工艺条件对PC基体镀类金刚石(DLC)薄膜耐磨性的影响.摩擦磨损试验、显微硬度检测评价的结果表明:在PC镜片上沉积DLC薄膜后其耐磨性有很大提高,磨损率从12.5μg/m降低到5.7μg/m,摩擦系数由0.6降到0.22,硬度提高35.7%,并获得较佳的工艺参数.
关键词:
聚碳酸脂
,
DLC
,
耐磨损性
