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党海军 , 秦启宗
量子电子学报 doi:10.3969/j.issn.1007-5461.2004.02.013
本文回顾了前人有关脉冲激光烧蚀过程的各种理论模型,重点综述了脉冲激光烧蚀金属氧化物的物理化学过程及反应机理,并对激光能量不很高时金属氧化物的烧蚀过程提出了热控制机制的新观点.
关键词: 激光技术 , 脉冲激光烧蚀(PLA) , 烧蚀机理 , 金属氧化物
