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石英晶体中的腐蚀隧道缺陷

李法荟 , 李建保 , 华大辰 , 王晓刚

人工晶体学报

石英晶体中的腐蚀隧道缺陷是晶体结构中位错的宏观表现.腐蚀隧道缺陷不仅影响石英加工过程,由于石英晶体元器件常处于冲击、振动、温度变化、辐射等的环境中,腐蚀隧道缺陷也大大影响元器件的性能,降低结构强度.本文对腐蚀隧道进行了比较系统的分析,提出了减少、抑制晶体中腐蚀隧道缺陷的技术手段.

关键词: 石英晶体 , 腐蚀隧道 , 位错 , 晶体生长