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硅烷化单晶硅表面自组装ZrO2薄膜及其摩擦学性能研究

王金清 , 刘晓红 , 许世红 , 杨生荣

机械工程材料 doi:10.3969/j.issn.1000-3738.2004.09.013

利用自组装成膜技术在磺酸化的MPTS自组装单层薄膜表面制备了ZrO2薄膜,应用接触角测定仪、X射线光电子能谱仪(XPS)、原子力显微镜(AFM)分析了薄膜的组成和结构.结果表明:该ZrO2薄膜比较致密、无裂缝,呈"准二维"特征,且与基底的牢固性好.摩擦磨损试验表明:ZrO2薄膜经500℃烧结处理后适于在低负荷、低滑动速度下作为减摩、抗磨保护性涂层.

关键词: 自组装单层薄膜 , 氧化锆薄膜 , 摩擦学性能