张伟
,
马志远
,
赫丽华
,
高剑英
,
罗文
,
林莉
,
雷明凯
材料工程
doi:10.11868/j.issn.1001-4381.2016.10.011
针对薄层材料超声测厚过程中回波信号混叠、超声纵波声速未知导致薄层厚度无法测量的问题，提出一种基于声压反射系数幅度谱（Ultrasonic Reflection Coefficient Amplitude Spectrum ，URCAS）匹配分析技术同时测量薄层厚度和超声纵波声速的方法。采用相关系数法...
关键词:
薄层材料
,
声压反射系数幅度谱
,
相关系数法
,
厚度
,
纵波声速
,
反演
