宋卿
,
于兆勤
,
张永俊
,
王冠
表面技术
采用喷淋式蚀刻机,以FeCl3基蚀刻液对模具钢进行喷淋蚀刻,通过测定不同蚀刻液温度、不同喷淋压力下的蚀刻深度,考察了几个独立因素对蚀刻深度的影响,得出蚀刻深度的规律性变化:蚀刻深度增长速率随蚀刻液温度的升高而增大,随喷淋压力的增大而先增大,后逐渐减小.分析了蚀刻深度呈此种变化规律的原因.
关键词:
喷淋蚀刻
,
蚀刻液温度
,
喷淋压力
,
蚀刻深度
黄红光
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郭钟宁
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王冠
,
宋卿
腐蚀学报（英文）
通过喷淋蚀刻实验研究了模具钢微细蚀刻加工时,工件掩膜间隙、蚀刻液喷淋压力和加工时间对蚀刻深度的影响.蚀刻深度随掩膜间隙的蚀刻尺寸、加工时间的增加而增大,随蚀刻液喷淋压力的增大呈先增大后减小趋势.这归因于掩膜间隙和蚀刻液喷淋压力的增大加快了蚀刻液的更新,使蚀刻反应充分并有利于反应杂质的排除.但是过大的喷淋压力减小了蚀刻液驻留时间,阻碍了蚀刻深度的增加.
关键词:
蚀刻深度
,
蚀刻压力
,
蚀刻间隙
