李德良
,
王丹
,
罗洁
,
龙丽娟
,
彭芸
表面技术
doi:10.3969/j.issn.1001-3660.2008.01.010
为了开发一种新型碱性蚀刻液以代替传统的氨类蚀刻液,该蚀刻液的组成特点是以铜-乙醇胺络合物、氯离子和碱性pH缓冲液作为主要成分.分别采用静态吊片蚀刻法和动态喷淋蚀刻研究方法探索了其最佳配方和操作条件,结果表明在铜离子浓度为85～95g/L,氯离子浓度3.5～4.5mol/L,乙醇胺浓度4.5～5mol...
关键词:
蚀铜液
,
乙醇胺
,
蚀刻速率
,
侧蚀因子
