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Pt/Au/p-Si溅射薄膜组织结构特征

殷景华 , 蔡伟 , 王明光 , 郑玉峰 , 赵连城

功能材料

在p-Si衬底上,分别淀积5 nm Au膜和5nmPt膜,形成Pt/Au/p-Si结构,500℃退火后形成硅化物薄膜.采用X射线光电子谱和X射线衍射谱研究薄膜成分和相分布,利用原子力显微镜和高分辨电子显微镜观察薄膜表面形貌和界面结构.测试结果表明,薄膜中含有PtSi相和Au相,表面较平坦,PtSi相形成层状结构,Au原子聚集成岛状结构.

关键词: Pt/Au/p-Si , 薄膜 , 硅化物分布 , 表面和界面结构