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工艺参数对化学气相沉积硫化锌起拱的影响

付利刚 , 霍承松 , 张福昌 , 魏乃光 , 王学武 , 吕反修

人工晶体学报

本文系统研究了沉积温度、压力、Zn/H2S、以及衬底表面粗糙度对起拱的影响.实验表明,适当的提高沉积温度(650 ℃)和降低沉积压力(1.5×104 Pa)有利于抑制沉积起拱;当Zn/H2S<1时起拱减弱,但透过率下降,可在沉积的初期采用低的Zn/H2S抑制起拱;由于表面阴影和钉扎效应,相对粗糙的衬底表面有更好的抑制起拱效果.

关键词: 起拱 , 沉积温度 , 沉积压力 , 衬底表面粗糙度