王沛
,
张斗国
,
唐麟
,
鲁拥华
,
焦小瑾
,
明海
量子电子学报
doi:10.3969/j.issn.1007-5461.2005.06.002
超分辨近场结构(Super-RENS)是在传统的超分辨光盘技术和近场光学的基础上发展起来的新技术.介绍了超分辨近场结构的基本原理及其在纳米光刻方面的应用,拓展了超分辨近场结构的外延:在近场范围内,能实现超过衍射极限的纳米多层膜结构.局域表面等离子体效应在高密光存储、纳米光刻等纳米光子学研究领域具有重要的科学意义和应用价值.
关键词:
近场光学
,
超分辨近场结构
,
纳米光刻
,
局域表面等离子体效应
