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李玉华 , 陈敬超 , 鲜春桥 , 吴春萍
材料导报
采用一种新的制备薄膜的技术--超声雾化气相沉积法(NVD),初步研制了一套采用该法制备薄膜的设备,已成功地用该设备制备出了TiO2薄膜.对薄膜形貌进行了初步的分析和研究,并用拉曼光谱对其进行了定性分析.
关键词: 超声雾化气相沉积法(NvD) TiO2薄膜 前驱体 拉曼光谱
