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张文英 , 黄楠 , 孙鸿 , 冷永祥 , 杨文茂 , 陈俊英
功能材料
采用过滤真空阴极直流弧源(FilteredCathodic Vicuum Arc Deposition,FCVA)方法沉积超硬(＞6000HV)超厚(微米级)的DLC/DLC多层薄膜.通过显微硬度、内应力测量、XPS等方法表明,该薄膜显著优于普通单层薄膜.
关键词: DLC , 类金刚石薄膜 , FCVA , 超硬超厚
