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闫生超 , 尤立星 , 陈健 , 吴培亨
低温物理学报 doi:10.3969/j.issn.1000-3258.2004.04.011
为了加强本征约瑟夫逊结(简称本征结)与高频电磁波信号的耦合,我们通过平面工艺手段获得了厚度小于伦敦穿透深度的超薄单晶基底,其厚度小于150nm.并在此基底上利用传统的mesa结构制备工艺制备了本征结.所制备的本征结超导性能没有发生明显的退化,与常规本征结的特性基本一致.
关键词: 高温超导 , 本征约瑟夫逊结 , 超薄单晶基底
