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溅射超薄Ag膜中的晶格畸变

孙兆奇 , 曹春斌 , 宋学萍

稀有金属 doi:10.3969/j.issn.0258-7076.2006.04.005

用直流溅射法制备了厚度从11.9到189.0 nm的超薄Ag膜.X射线衍射(XRD)分析表明:样品中的Ag均为面心立方多晶结构,粒径从6.3到14.5 nm.通过晶格常数的计算发现:晶格畸变为收缩,且随着粒径的减小收缩率增加,最大值为1.1%.结合不同方法制备纳米Ag材料的研究结果,讨论了影响晶格畸变的主要因素.

关键词: 直流溅射 , 超薄Ag膜 , 晶格畸变