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集成电路用钽溅射靶材制备工艺研究

宜楠 , 权振兴 , 赵鸿磊 , 武宇

材料开发与应用

金属钽可作为集成电路中铜与硅基板的阻隔层材料,以防止铜与硅扩散生成铜硅合金影响电路性能.采用钽靶材通过物理气相沉积技术溅射钽到硅片上.靶材晶粒尺寸与织构取向影响溅射速率及溅射薄膜均匀性,要求钽靶材晶粒尺寸应小于100 μm,在靶材整个厚度范围内应主要是(111)型织构.同时,为了避免薄膜存在杂质颗粒,要求钽靶材纯度不小于99.99%.本文对钽靶材电子束熔炼、锻造、轧制、热处理等关键工艺进行了系统研究,找到了一种有别于常规钽靶材生产工艺的新方法,所生产产品化学纯度、晶粒尺寸、织构等性能优良,产品成品率高,适于批量化生产.

关键词: , 溅射靶材 , 晶粒尺寸 , 织构 , 电子束熔炼 , 锻造 , 轧制 , 热处理

Effect of the width on AZ31 sheet rolling

Qingwei DAI

金属学报(英文版)

A pyramid sheet has been used in experiments and three-dimensional finite element simulation to study the edge cracks and effects of width on AZ31 sheet under rolling. Results show that the edge cracks of Mg sheet comply with the Normalized Crockroft & Latham theory. It can be predicted by D=-0.124+0.09X-0.008X2, if D≥0, the edge cracks occur. The sheet shearing deformation at the edge brings about cracks. The strain rate changes periodically with different X. With initial width increases, the recrystallized grain size decreases. The finite element model has been validated by the experiment results.

关键词: Finite elements method , 镁合金 , 轧制 , 边裂

Ti-6Al-7Nb钛合金热加工与热处理工艺研究

牛中杰 , 曹继敏 , 杨冠军 , 王廷询

钛工业进展 doi:10.3969/j.issn.1009-9964.2006.01.006

研究了Ti-6Al-7Nb合金不同热加工与热处理工艺引起的显微组织和力学性能变化,探讨该合金组织变化的特点和性能变化的内在规律.结果表明,在工业化生产条件下,Nb元素添加采用铌钛中间合金,选用适宜的铸锭熔炼工艺参数,可以获得成分均匀、无富Nb偏析的优质铸锭.在两相区锻造或轧制后坯料在700℃~800℃范围内退火,合金组织与性能均能满足ASTM和ISO标准要求.

关键词: Ti-6Al-7Nb合金 , 熔炼 , 锻造 , 轧制 , 热处理 , 显微组织 , 力学性能

冷、热加工工艺对ODS MGH 956合金板材再结晶行为的影响

田耘 , 柳光祖 , 杨峥

钢铁研究学报

以氧化物弥散强化的MGH 956合金由不同冷、热轧制工艺加工出的不同厚度的板材作为研究对象,探讨了经不同的再结晶退火工艺处理后该合金的组织.结果表明:MGH 956合金板材的再结晶是否充分、完全再结晶的退火温度和保温时间以及再结晶的晶粒尺寸均与最后一个退火周期完成后冷、热轧制过程的工艺参数有非常直接的关系.变形温度越低、变形量越大,板材充分实现再结晶的温度越低、保温时间越短,晶粒尺寸也越大.而再结晶的晶粒形貌则主要取决于所采用的变形加工的方法和方式.

关键词: 氧化物弥散强化 , 机械合金化 , 轧制 , 再结晶 , 盘状晶组织

轧制及热处理对WE43镁合金组织和性能的影响

余琨 , 黎文献 , 王日初 , 王渤 , 李超

材料热处理学报

用硬度检测、拉伸实验、X射线、光学显微镜和TEM观察等方法,测试分析了WE43镁合金铸态、轧制态、T5和T6热处理态时的性能和显微组织等.结果表明:WE43镁合金经过轧制和T5热处理后硬度和强度都有大幅度的提高.轧制后的WE43合金在强度上表现出明显的各向异性,垂直轧制方向的屈服强度要比沿轧制方向的屈服强度低.WE43合金轧制后进行T5处理,其强度要比T6处理强度明显要高,这与在T5状态下合金中析出强化相分布更加密集和细小有关.

关键词: WE43 , 镁合金 , 轧制 , 热处理

切分孔形状对轧件变形影响的有限元分析

阎军 , 鹿守理 , 陈希克

钢铁研究学报

采用三维大变形热力耦合有限元法分析了不同形状的切分孔对轧件变形的影响,探讨了轧制过程中轧件上的变形分布,研究了金属的流动规律以及对轧制力能参数的影响.模拟结果和实际轧制情况一致.通过模拟金属变形过程可为不同条件下正确设计切分孔提供依据.

关键词: 轧制 , 切分孔 , 变形 , 有限元法

中厚板轧制前温度场的数值模拟

苏石哲 , 孙建林 , 禹峰哲 , 贠冰

钢铁研究

为减少中厚板产品缺陷,降低生产能耗,采用Ansys软件进行了轧制前温度场的数值模拟.考虑材料物理特性随温度变化的情况,并采用瞬态过程的处理方法,使数值模拟模型更适合于实际情况并减少计算量,提高了模拟精确度.结果表明:利用该模型对16 Mn钢轧制过程进行数值模拟,其结果与实测数据进行对比,相对误差仅为3.89%.

关键词: Ansys软件 , 轧制 , 温度场 , 数值分析

搅拌铸造SiCp/2024复合材料热挤压-轧制变形组织及性能

冯朝辉 , 苏海 , 高文理 , 陆政

材料导报

利用搅拌铸造-热挤压-轧制工艺制备SiCp/2024复合材料薄板.通过金相观察(OM)、扫描电镜(SEM)及力学测试等手段研究了该复合材料在铸态、热挤压态及轧制态下的显微组织及力学性能,分析了材料在塑性变形过程中显微组织及力学性能的演变.结果表明,该复合材料铸坯主要由80~100μm的等轴晶组成,粗大的晶界第二相呈非连续状分布,SiC颗粒较均匀地分布于合金基体中;热挤压变形后,晶粒沿挤压方向被拉长,SiC颗粒及破碎的第二相呈流线分布特征;轧制变形后,基体合金组织进一步细化,晶粒尺寸为30~40μm,SiC颗粒破碎明显,颗粒分布趋于均匀,轧制变形对挤压过程中形成的SiC颗粒层带状不均匀组织有显著的改善作用.教学概率统计指出,塑性变形有利于提高颗粒分布的均匀性.力学测试表明,塑性变形后,复合材料的抗拉强度、屈服强度和延伸率显著提高.SiCp/2024铝基复合材料主要的断裂方式为:合金基体的延性断裂、SiC颗粒断裂及SiC/Al界面脱粘.

关键词: 搅拌铸造 , 铝基复合材料 , 力学性能 , 显微组织 , 轧制

航空导管用TA18钛合金管材研制

席锦会 , 杨亚社 , 南莉 , 舒滢 , 曲恒磊 , 杨建朝

钛工业进展 doi:10.3969/j.issn.1009-9964.2011.05.009

航空导管用TA18钛合金管材要求具有很高的机械性能、良好的加工性能以及良好的耐腐蚀性能等综合性能.针对国内航空导管用TA18钛合金管材试制阶段所存在的问题,通过原料成分优化、每道次轧制变形量和Q值的控制以及管材退火温度的合适选择试图解决TA18钛合金管材综合性能的匹配问题;通过管坯尺寸偏差的控制以及每道次轧制精度的控制以达到成品管材尺寸公差满足标准要求;通过管材轧制中内外表面处理提高成品管材的探伤合格率.试制结果表明,采用此工艺可以制备尺寸精度及力学性能满足标准要求的TA18钛合金成品管材,但成品管材探伤合格率仅为66%,还需改进提高.

关键词: 航空导管 , TA18 , 钛合金管材 , 轧制

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