白海力
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姜恩永
金属学报
在473—523K的低温退火条件下，通过对CoN／CN软X射线多层膜一级调制峰强度增强的定量观测，研究了CoN／CN软X射线多层膜的界面互扩散行为，并测得低至10-25m2s-1的有效扩散系数通过和Co/C多层膜的结果相比较，发现N掺杂使CoN／CN软X射线多层膜的界面互扩散行为明显不同于Co／C多层膜，并具有如下特点：（1）有效扩散系数和宏观扩散系数较小；（2）扩散激活能较大；（3）临界波长相等Co—N，C—N之间存在的强化学键以及N原子的填隙，减小了结构弛豫和界面扩散这表明通过N掺杂有希望改善Co／C软X射线多层膜的结构热稳定性.
关键词:
软X射线多层膜
,
multilayer
,
interdiffusivity
,
doping
雷洁红
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邢丕峰
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唐永建
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吴卫东
材料导报
软X射线短波段区域(1～10nm)高反射率多层膜的制备对软X射线光学的研究具有十分重要的意义.该波段要求镀膜过程中能减小界面扩散,实现膜厚控制,从而严格限制了制备技术的应用.介绍了软X射线短波段多层膜的发展现状和制备技术,主要包括蒸发沉积、溅射沉积、脉冲激光沉积技术和激光分子束外延,对这些方法进行了比较并提出了今后的研究方向.
关键词:
软X射线多层膜
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表面粗糙度
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制备技术
